全自动硅片清洗设备

　　全自动硅片清洗设备组成

　　该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部分组成。

　　描述

　　1. 此装置是一个全自动的处理设备。

　　2. 10.4英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作。

　　3. 清洗工作过程由 欧姆龙系列PLC控制。

　　4. 清洗作业员将装满工件的清洗篮放置在进料台上，清洗篮根据设定的程序，自动依次送到各工位，对工件进行清洗、漂洗，漂洗后的工件由链条传输到下料位，由链条送出，最后由作业员将清洗篮取走。

　　被清洗物

　　硅料多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等。